Name: Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Brand: Техносфера
SKU: 3262529
Price: 31.62 BYN
Availability: InStock

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

36.34 BYN

31.62 BYN

В корзину

Дата доставки.

Доставка в Минск: 30 Апреля (Вт) - 01 Мая (Ср)

Доставка в регионы: 06 Мая (Пн) - 08 Мая (Ср)

За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Артикул

3262529

Издательство

Техносфера

Тип обложки

твердый переплет

Автор

Берлин Е.В. , Григорьев Василий Юрьевич , Сейдман Лев Александрович

Штрих код

9785948365190

Год

2018

Страниц

464

Язык

Русский

Размеры

170x240 мм

Вес

867 гр.

Изготовитель

ЗАО "Рекламно-издательский центр "Техносфера". РФ, г. Москва, Лубянский проезд, 27/1

Назначение

Высшая школа