Ионная и фотонная обработка материалов
31.73
BYN
Доставка в Минск:
10 Мая (Пт) - 13 Мая (Пн)
Доставка в регионы:
16 Мая (Чт) - 20 Мая (Пн)
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Артикул
u661684
Издательство
Тип обложки
твердый переплет
Автор
Штрих код
9789850633958
Год
2022
Страниц
246
Язык
русский
Размеры
145х200 мм
Изготовитель
РУП «Издательство "Вышэйшая школа"», РБ, г. Минск, пр. Победителей, д. 11
Предмет
Назначение
С этим товаром покупают
Будьте первыми, кто оставит отзыв!