Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Name: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Brand: Лаборатория знаний
SKU: 603939
Availability: OutOfStock

(0 отзывов)

недоступно к заказу

Добавить в лист ожидания

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Артикул

603939

Издательство

Лаборатория знаний

Серия

Нанотехнологии

Тип обложки

твердый переплёт

Автор

Галперин Вячеслав Александрович Данилкин Евгений Владимирович Мочалов Алексей Иванович

Штрих код

9785996300327